Titanium smedning runde mål

Titaniummål er produktet af titanium med høj renhed efter behandling og er lavet af tynd film ved fysisk dampaflejring. Brugt som et barriere lag til aluminiumsledninger i halvlederchips.

1. Hovedpræstationskrav til titaniummål

(1) Udseende Kvalitet: Før titaniummålet forlader, skal titanmålet rengøres uden støv, og overfladen skal være ren. Efter at have afsluttet overfladen af ​​titaniummålet, skal overfladen ruhed opfylde kundernes krav.

(2) Interne defekter: Der skal ikke være indeslutninger, porer, revner og andre defekter inde i titaniummålet.

(3) Sammensætning: Titaniummålet er opdelt i rent titaniummål og legeringsmål, legeringsmål inklusive titaniumaluminiumslegeringsmål, titaniumnitridmål, titanlegeringsboride -mål osv. Målmaterialets renhed er 99,9%-99. 999%.

(4) Kornstørrelse: Titaniummålkorn er ensartede og fine, og det gennemsnitlige korn styres generelt til at være mindre end 50μm.

(5) Tekstur: Krystalorienteringen af ​​titaniummål<002>foretrækkes og større end eller lig med 35%.

(6) Geometrisk størrelse: Størrelsen på titaniummålet varierer afhængigt af kravene til brug, og diameteren er generelt 200-460 mm.

Titaniummål kan opdeles i enkelt titaniummål og svejste titaniummål i henhold til deres struktur. Det enkelte titaniummål behøver ikke svejses, og billetbehandlingen er integreret. Svejset titaniummål er at svejse Titanium -målet tomt med bagplanet, de almindelige svejsemetoder inkluderer lodning og diffusionsvejsning. Materialer til svejsegang inkluderer kobber- og kobberlegerings bagplan, aluminium og aluminiumslegerings bagplan osv. Efter svejsning er der oprettet ultralydsdetektion for at sikre, at forbindelsen mellem målet og bagplanen har en vis bindingsstyrke for at undgå problemer, såsom at falde af og revne under sputtering. Tabel 9-23 beskriver svejsekvalitetskravene til titanmål.

2. Fremstilling af titaniummål

Det rene titaniummål fremstilles generelt af den varme presseproces med smeltende ingot. Titaniumlegeringsmålet blev fremstillet af pulvermetallurgi.

Den varme presseproces er baseret på den højrulitets titanium-ingot opnået fra smeltning. Mikrostrukturen og formen og størrelsen på billeten styres ved smedning, rullende, annealing og anden plastforarbejdningsteknologi, og derefter er billeten bearbejdet til at opnå titanmålet. Efter smedning, rullende og udglødningsproces har titaniummålet et fint og ensartet korn og overlegen struktur, som kan opfylde kravene i titanmålet i sputteringsprocessen. Tabet i smeltende INGOT -behandling er stort, inklusive tabet i smeltebesætningsprocessen, tabet i smedning og rulleproces, fordi oxidskalen skal drejes, og tabet i skærebehandlingen er også til stede, så den endelige udnyttelsesgrad er ca. 80%.

For TIB2, TIAI og andre legeringsmål er det let at knække under smedning, og det er mere egnet til pulvermetallurgi -behandling, det vil sige titaniumpulver og tilsætningsstoffer bruges som råmaterialer, gennem pulverblandingsprocessen, og derefter tilarbejdes billet med varmt presserende eller varm isostatisk trykkraft, og derefter opnås titan -legeringsmålet. Pulvermetallurgi er den foretrukne metode til fremstilling af titanlegeringsmål, fordi det kan dannes tomt på én gang, har en høj materialeudnyttelseshastighed og kan let tilføje legeringselementer. Problemerne med pulvermetallurgi er materialets renhed, ensartethed af legeringssammensætningen og densiteten. Materielle interne defekter og andre aspekter af kontrolkravene er høje.

Arbejdsprincippet for titaniummål er relateret til en række fysiske og kemiske reaktioner og er vidt brugt i fysisk dampaflejring (PVD), herunder magnetron -sputtering, ionstråle -sputtering og andre metoder. I disse metoder er titaniummål et vigtigt råmateriale.

 

Populære tags: Titanium smedning runde mål, China Titanium smedning runde målproducenter, leverandører, fabrik